化学试剂将变质层清洗掉，同样可以更精准的控制打磨的精度……”
赵国庆点点头，说：“伱看，方法都是人想出来的，现在给你们的检测仪器，可都是顶级的高精度光学仪器，怎么做，不需要我再强调吧，对了你们也可以不用这两种方法，谁要是想出更可行的方案，我个人奖励他一百万元人民币……”
“呼……一百万……”
还真有不少人跃跃欲试。
这钱赵国庆也乐意花。
事实上，透镜这一块，赵国庆还真没当成技术上的难点，首先透镜的材料，我们国家的石英晶体的提纯可是顶级的，再就打磨，知道原理也就那么一回事。
只不过生产的成本高了一些罢了。
走过光学研究室，隔壁就是激光研究室。
“赵所长！”
“史总工，听说你结婚了，还没来得及恭贺你的！”
原101所激光研究室的抗把子史文秀，一位很要强的女孩子。
激光研究室的研究方向很多氟化氪激光器，氟化氩激光机，二氧化碳激光器，还有半导体激光器，很多款已经开始军用了……
“赵所长，我们的氟化氪激光器已经能做到三十千瓦了！”
赵国庆点点头，这个功率已经可以上光刻机了，小史啊，继续努力，攻克氟化氩激光器吧，193纳米激光器才是未来。
一路过去，半导体材料研究室、碳纤维研究室、金属晶相研究室、EDA软件研究室……
一旁跟随在赵国庆身边的周励，又找到了熟悉的感觉，小赵老师又开始教小朋友写作业了。
一直到工台稳定研究室，小赵老师鲜有的皱起眉头。
“赵所长，ASML的PA2000光刻机我们已经完全测绘了，包括材料都取样分析了，但是……”
但是还没完全解决工台稳定系统吧！
测绘资料赵国庆也翻了很多遍，运行原理也召开过多次研讨会。
跟赵国庆设想的差不多，用的是三级控制，工台调稳之后，三级调控，每一次调控精度上升一个数量级。
跟人工螺纹差不多，先调到微米精度，再细调到百纳米，再细调到是纳米。
背后依靠的是精准的电流控制，和高精度数字控制伺服电机，还有精准的传感器测量。
PA2000工台稳定系统使用了两种位置控制方式，一个是滚珠丝杠，将螺旋移动转化为水平移动，从角度进行精确控制位移。
其二便是液压控制，用类似继电器一样的装置，通过电流来控制磁场来改变压力，继而可以微调位移。
“从他们控制软件可以看出来，给多少电流，通过反复测试得出来的，他们的传感器精度高，工台边位移边测量，结果直接反馈到计算机，再通过微调进行校正……”
赵国庆认为还是要反复实验，用实验数据来说话。
而伺服电机、液压传动装置、还有滚珠丝杠等等，甚至一个皮带传动，都安排人员进行攻关。
详尽的数据，从数据里面发现规律，总结规律。
“两个月后，带你们去个地方，你们也准备一下，大概需要两三个月的时间！”
赵国庆对周励说：“提醒我一下，隔几天安排微电子研究室，跟他们开个研讨会！”
传感器可以造出来，控制程序又是一个技术点，一个关键的考差点就是响应时间，而压力、光线、电流、磁场各类需求的传感器也有上百种，控制的方案若干。
没事，砸钱……
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